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合肥稳定性好真空镀膜公司

时间:2021-05-26 23:05 来源:网络整理 转载:玉林地方门户网站
感应加热式蒸发源的结构 ****真空株式会社(ULVAC

真空镀膜在真空氛围中,荷能粒子或粒子束入射到固体表面(靶)上,使靶表层原子获得部分能量,当其动能超过周围原子形成的势垒(对于金属是5eVmdash,lOeV)时,这种原子由从晶格阵点中被碰出来,进入真空中,这种现象谓之溅射由于离子易于被电磁场加速或偏转,故真空溅射镀均选择离子束轰击靶材.使其原子被溅射出来沉积到基片上形成薄膜。每个离子溅射产额不仅与入射离子能量、入射角、离子质量有关,同时还与靶材种类、原子序数、靶面原子结合状态以及结晶取向有关。一般产额为0.1mdash,10(原子离子),大部原子能量小于20eV,并且为中性据多。    原子溅射产额与入射离子能量有关,只有离子能量超过溅射阈值能量时才能发生溅射。当离子能量超过阈值后,随着离子能量增加,在150eV以前,溅射产额与离子能量平方成正比;在150eVmdash,1keV范围与离子能量成正比,在1keV~10keV范围内基本不变。当用惰性气体氩离子及氖离子轰击靶材时,由于能量不同,溅射产额亦不同。    表10-8给出了500eV的离子溅射产额。    各种溅射方法镀膜原理及特点由表10-9给出。。

防指纹****贤集网小编来详细为大家介绍高真空镀膜机的结构、基本技术要求、用处、特点、适用范围、操作程序、检漏注意事项一起来看看吧!高真空镀膜机的结构一、真空主体——真空腔根据加工产品要求的各异,真空腔的大小也不一样,目前应用最多的有直径1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等,腔体由不锈钢材料****,要求不生锈、坚实等,真空腔各部分有连接阀,用来连接各抽气泵浦。二、辅助抽气系统此排气系统采用“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成?排气流程为:机械泵先将真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空状态,为扩散泵后继抽真空****前提,之后当扩散泵抽真空腔的时候,机械泵又配合油扩散泵组成串联,以这样的方式完成抽气动作。排气系统为镀膜机真空系统的重要部分,主要有由机械泵、增压泵(主要介绍罗茨泵)、油扩散泵三大部分组成。1、机械泵:也叫前级泵,机械泵是应用最广泛的一种低真空泵,它是用油来保持密封效果并依靠机械的方法不断的改变泵内吸气空腔的体积,使被抽容器内气体的体积不断膨胀从而获得真空。2、增压泵增压泵又叫罗茨泵,它是具有一对同步高速旋转的双叶形或多叶形转子的机械泵,由于它的工作原理与罗茨鼓风机相同,所以又可以叫罗茨真空泵,此泵在100-1帕压强范围内有较大的抽气速度,它弥补了机械泵在此范围内排气能力不足的缺点,此泵不能从大气开始工作,也不能直接排出大气,它的作用仅仅是增加进气口和排气口之间的压差,其余的则需要机械泵来完成,因此,它必须配以机械泵作为前级泵。3、油扩散泵:机械泵的极限真空只有10-2帕,当达到10-1帕的时候,实际抽速只有理论的1/10,如果要获得高真空的话,必须采用油扩散泵。高真空镀膜机的基本技术要求1、设备中的真空管道、静态密封零部件(法兰、密封圈等)的结构形式,应符合GB/T6070的规定。2、在低真空和高真空管道上及真空镀膜室上应安装真空测量规管,分别测量各部位的真空度。当发现电场对测量造成干扰时,应在测量口处安装电场屏蔽装置。3、如果设备使用的主泵为扩散泵时,应在泵的进气口一侧装设有油蒸捕集阱。

PVD镀膜    (10)检验和包装    经上述工序的涂镀,ABS塑料汽车轮毂盖具有如下优良性能:    表面色泽:与电镀铬一致;划格镀层的附着力(百格):100/100;铅笔硬度:1~2H;CASS试验:gt,96h。可见,本研究产品性能显著优于真空镀铝产品,也优于电镀铬产品。    本研究将光固化涂料与真空镀膜复合,既保持了塑料密度小、质量轻的特点,又具有金属铬的银白色泽,以及导电、导热、耐磨、耐划伤等性能,并且具有优异的耐蚀性。对于表面光洁的塑料板材和形状不复杂的制品,可以用本研究技术代替电镀铬,使生产工序简化,水和电的消耗显著减少,可节省铜和镍等金属资源,同时实现了镀铬的清洁生产。    4结语    (1)光固化有机涂层与真空镀层的复合是一种应用广泛的复合表面处理技术。(2)真空镀铬对光固化底涂层提出了更高的要求:足够的耐热性和耐辐照性,与基材及真空镀膜层有良好的结合力,不能相互发生化学反应,具有良好的流平性等。脂环族环氧树脂改性丙烯酸酯涂料基本上达到这些要求,从而为真空镀铬以及需要采用离子镀和磁控溅射的真空镀膜创造了基本条件。(3)光固化有机涂层与真空镀铬复合,加上钛氧化物膜的保护,形成了一种新的镀铬技术,其性能显著优于真空镀铝,而与传统的电镀铬相比较,则具有环保、节能、节水、节材、简化工序、降低成本以及性能更优的特点,值得大力推广。。

****喷涂所以采用感应加热方法生产金银丝的成品率亦相应提高    ③蒸发源一次装料,无需送丝机构,温度控制比较容易,操作比较简单。    ④对膜材纯度要求低。一般真空感应加热用99.9%纯度的铝,而电阻加热要求铝的纯度为99.99%。所以生产成本亦可降低。    (2)感应加热式蒸发源的结构    ****真空株式会社(ULVAC)生产的EW系列卷绕式高真空镀膜机中用的感应加热式蒸发源结构,如图10-8所示。电源为高频发电机组,电压450V,频率为9727Hz。该系列坩埚共有四个品种,其标准****见表10-1。    内径坩埚的装料是1000g,坩埚使用寿命平均达18次~20次。为了延长坩埚使用寿命,在次装铝料时,应加入4%的钛,以后可适当减少,其目的是在坩埚的内表面形成一层TiC,以防止铝直接与坩埚发生反应。    除上述各种蒸镀方法外,其它蒸镀方法及其实用性见表10-2。

表面处理基于离子镀沉积速度快,镀材广泛,绕射性好,镀层质密,附着性好等特点,其应用日趋广泛,将来有可能代替湿式电镀离子镀应用领域见表10-14。。

    从更深层次研究电子在非均匀电磁场中的运动规律探讨了磁控溅射的更一般原理以及磁场的横向不均匀性及对称性是磁约束的本质原因磁控溅射可以被认为是镀膜技术中z*突出的成就之一。它以溅射率高、基片温升低、膜-基结合力好、装置性能稳定。    冷水机是一种水冷却设备,能****恒温、恒流、恒压的冷却水设备。其工作原理是先向机内水箱注入一定量的水,通过制冷系统将水冷却,再由水泵将低温冷却水送入需冷却的设备,冷冻水将热量带走后温度升高再回流到水箱,达到冷却的作用。冷却水温可根据要求自动调节,长期使用可节约用水。    冷水机能控制真空镀膜机的温度,以保证镀件的高质量。如果不配冷水机就不能使真空镀膜机达到高精度、高效率控制温度的目的,因为自然水和水塔散热都不可避免地受到自然气温的影响,而且此方式控制是极不稳定的。    冷水机具有完全独立的制冷系统,绝不会受气温及环境的影响,水温在5℃~30℃范围内调节控制,因而可以达到高精度、高效率控制温度的目的,冷水机设有独立的水循环系统。。

    说到汽车,那就得说说汽车真空镀膜了,汽车镀膜市场上的各种产品鱼龙混杂,价格也从几百元到几千元不等,没有一副火眼金睛很难看出其中的奥秘汽车镀膜是指将某种特殊的药剂涂装在车漆表面,利用这种药剂在车漆表面的化学变化,形成一层很薄、坚硬、****的保护膜从而起到增亮车漆,提高漆面光泽度和防止轻微划痕的作用。    一是可以防止紫外线对车漆的损伤,在阳光直射,车漆受到紫外线的长期照射后,里面的化学结构会发生缓慢的改变,失去光泽、异色斑点,甚至发生龟裂;二是可以防止雨水对车漆的损害,雨水中的酸性物质也在不断增加,盐分和其他物质附着在车漆上,造成对漆面的持续损伤;三是可以防止外界的刮花,车身镀膜处理的汽车车体表面的硬度提高,减少行驶中沙粒对车漆造成的划痕;四是可以提高车身的光滑度,使车身整体美观光亮,同时也方便清洗。    其实车身镀膜还有很多好处,比如:修复细微划痕、抗氧化、抗老化等作用。那么车身镀膜由原来传统的水电镀工艺设备,发展到现在高科技的真空镀膜。那么后者更高效更环保,是现在镀膜工艺的s*先设备。。

在换上新气瓶后,在工件没加热前,应在抽空过程中对炉内充气,以便在换气瓶过程中造成的管路内存有的大气抽出,使充气管路保持清洁3、旋转部件应涂少量润滑油应先涂少量真空泵油对旋转部件的润滑表面。请注意清洁,非铁,沙子和灰尘进入真空泵,定位要接触良好。真空泵的安装应转动轻松,无凹凸不平和堵塞现象严重。4、正常工作时,发现设备突然漏气正常工作时,发现设备突然漏气,如马上能找到泄露点,须用真空封泥把泄露点封住,待工作完毕后,再做处理。如不能确定泄露处,则应立即停止工作,然后检修。5、高温时断水、断电。真空设备最怕的就是高温时断水、断电。因此用户在设备安装时建有备用水箱或连有自来水管。设备在高温断水、断电,此时泵、阀门均应处于关闭状态,操作人员应马上接通备用水或自来水,对设备进行水冷,如不能很快来电,还应打开充放气系统的手动充气阀,对设备进行充电保护,充气压力为-0.02MPA左右。然后把控制柜上的所有按钮关至“关”的位置。

可拆卸屏蔽环能够防止非靶材构件的溅射,并且可以拆卸下来清除沉积其上的膜层其余构件的作用与其它磁控靶的构件相同。。

在大多数镀铝设备中,采用z*多的还是直接通电的电阻加热蒸发源蒸发源所用的坩埚材料一般为难熔金属(如W、Mo、Ta)和石墨。前者多用于间歇式蒸发设备中,后者多用于连续式蒸发设备中。    ②氮化硼合成导电陶瓷加热器。为了获得比石墨更加理想的蒸发器材料,在真空镀膜设备中,广泛采用了一种新的蒸发器,即氮化硼合成导电陶瓷加热器。这种加热器是由耐腐蚀、耐热性能优良的氧化物、硼化物等材料通过热压、涂敷而成的一种具有导电性的陶瓷材料。。

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